低溫冷卻液循環(huán)泵是用機械形式的制冷低溫液體循環(huán)設備。能夠提供低溫的液體、體溫洗浴水等。加上真空冷凍干燥箱、循環(huán)水式多用真空泵、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器、磁力攪拌器等儀器，儀器進行低溫環(huán)境下的化學反應。

低溫冷卻液循環(huán)泵內(nèi)循環(huán)：通過泵對槽內(nèi)液體介質(zhì)的循環(huán)吞吐，增加槽內(nèi)溫度的均勻性，減少溫度波動。

低溫冷卻液循環(huán)泵外循環(huán)：通過泵的循環(huán)能力，利用出水口,將保溫軟管與外部設備連接，形成封閉回路，流回設備進水口，是將槽內(nèi)恒溫介質(zhì)外引，建立外部恒溫場

低溫冷卻液循環(huán)泵應用范圍：

對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。

低溫冷卻液循環(huán)泵用于其他產(chǎn)業(yè)的機械冷卻設備有：精密研磨機、自動包裝機、鍍金槽、射出成型機、等離子熔接等。